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1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III是三溫區(qū)滑軌真空管式爐，可通入混合氣體進行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。本機可在不同氣氛下，在Z大6″的基片上生長多種薄膜。
1100℃三溫區(qū)11″管式爐GSL-1100X-11-III是三溫區(qū)大尺寸系列管式爐，爐管直徑達到11″。本機廣泛用于真空或氣氛保護環(huán)境下對材料進行燒結(jié)。
大口徑管式真空氣氛爐GSL-1100X采用高純石英管，外徑規(guī)格有6″、8″、8.5″、11″可選，并配有不銹鋼法蘭，可進行抽真空或通入其他氣氛氣體操作，主要用于大尺寸樣品燒結(jié)的需求。
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